一种在中锆合金表面渗锆制备富锆改性层的方法

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一种在中锆合金表面渗锆制备富锆改性层的方法,其主要包括以下步骤:1、锆合金Zr51Ti39Al5V5的表面预处理;2、双辉等离子渗镀处理,渗锆源极靶材为工业纯锆,源极与合金表面间距为16‑18mm;抽真空至4Pa以下,充入氩气至300Pa,重复抽三次;将工作气压调至30‑40Pa,打开合金极电源升电压至300V,对合金表面进行轰击清洗10min,随后将合金电压升至工作电压450‑550V;打开源极电源升电压至640‑650V,对源极靶材进行轰击清洗10min,最后升源极电压至工作电压800‑900V,温度稳定在750‑850℃;恒温渗镀3‑5h。本发明所制备的锆合金表面层硬度明显提高,摩擦系数减小,磨损量也较之前明显减少,而且其表面耐蚀性能得到明显改善。

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